Analyse der Ausbreitung von Mikrowellen in einem Plasma

Daniel Szeremley, Ralf Peter Brinkmann, Simon Steves, Peter Awakowicz, Mark J. Kushner, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2013, Jena, Ger­ma­ny, 25 February - 01 March, oral contribution


Abstract

Auf Grund ihrer besonderen Eigenschaften sind Mikrowellenentladungen ein wichtiges Werkzeug für die Beschichtungstechnik. Insbesondere die Möglichkeit, durch eine zusätzliche Bias-Spannung Ionen-Energieverteilungsfunktionen vor Substraten über einen großen Bereich nahezu frei einstellen zu können, macht diese Entladungen zu leistungsstarken Werkzeugen zur Abscheidung nanostrukturierter Funktionsschichten. Eine weitreichende Analyse der Moden und Ausbreitungseigenschaften elektromagnetischer Wellen in einem Plasma entlang einer Antenne ist von besonderem Interesse. Diese Informationen sind notwendig, um einen Plasmareaktor den Ansprüchen der jeweiligen Anwendung optimal anpassen zu können. In diesem Beitrag werden numerische Simulationsergebnisse einer Mikrowellenentladung in einem Plasma präsentiert, die mittels eines selbstkonsistenten Hybrid-Codes berechnet wurde. Im Mittelpunkt steht dabei die Charakterisierung der Entladung und der sich ausbreitenden Oberflächenwellen entlang der Antenne.

Tags: Analyse, Mikrowellenplasma, Wellenausbreitung