Characterization of Dielectric Deposition Processes Using Active Plasma Resonance Spectroscopy

Christian Schulz, Tim Styrnoll, Martin Lapke, Jens Oberrath, Robert Storch, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Musch, Thomas Mussenbrock, Ilona Rolfes

Kleinheubacher Tagung 2012, U.R.S.I. Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e.V., Miltenberg, Germany, Sep 24-26, 2012

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