Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde

Jens Oberrath, Christian Schulz, Robert Storch, Tim Styrnoll, Martin Lapke, Thomas Mussenbrock, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Musch, Ilona Rolfes

16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012, Nürnberg, 22.-23. Mai (Proceedings: ISBN 978-3-9813484-0-8)

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