Bestimmung von Elektronendichte und Temperatur mit der Multipol-Resonaz-Sonde in Technologischen Plasmen

Tim Styrnoll, Martin Lapke, Jens Oberrath, Christian Schulz, Robert Storch, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Musch, Thomas Mussenbrock, Ilona Rolfes

PT 15, Stuttgart, Ger­ma­ny, Feb 28 - March 02, 2011

Tags: Elektronendichte und Temperatur, Multipol-Resonaz-Sonde, Technologischen Plasmen