Kinetische Simulation des Neutralteilchen- und Ionentransports in Sputterprozessen

Jan Trieschmann, Frederik Schmidt, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2016, Hannover, Ger­ma­ny, 29 Fe­bru­ary - 04 March

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