Modellbsierte Regelung einer kapazitiv gekoppelten HF-Entladung

Egmont Semmler, Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung, Augs­burg, Ger­ma­ny, 27-30 March

Tags: HF-Entladung, modellbasierte Regelung