Prozesstaugliche Plasmadiagnostik mit der Multipolresonanzsonde

Ralf Peter Brinkmann, Peter Awakowicz, Martin Lapke, Thomas Musch, Jens Oberrath, Ilona Rolfes, Robert Storch, Tim Styrnoll, Thomas Zelder, Christian Zietz

Symposium Plasmatechnik für die Optikherstellung (SYPT), DPG Frühjahrstagung, oral contribution, Hannover, Germany, March 8-12, 2010

Tags: Multipolresonanzsonde, Plasmadiagnostic