Veranstaltung: Master-Projekt Nanostrukturierung

Nummer:
148233
Lehrform:
Projekt
Verantwortlicher:
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Kunze
Dozent:
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Kunze (ETIT)
Sprache:
Deutsch
SWS:
3
LP:
3
Angeboten im:

Prüfung

Projektarbeit

studienbegleitend

Ziele

Die Studierenden haben praktisches Verständnis lithografischer Techniken, die bei der Herstellung nanoskaliger Halbleiterbauelemente Anwendung finden.

Inhalt

Im Projekt wird sowohl die lithografische Strukturierung von Halbleitern im Mikro- und Nanometerbereich, als auch die topografische Charakterisierung dieser Strukturen vermittelt. Praktische Fähigkeiten werden insbesondere in den drei Abschnitten (A) optische Lithografie, (B) Nanolithografie mit dem Rasterkraftmikroskop und (C) Elektronenstrahllithografie erarbeitet.

Voraussetzungen

keine

Empfohlene Vorkenntnisse

  • Grundlagen Halbleitertechnologie
  • Vorlesung Nanoelektronik
  • Schwerpunkt Mikro- und Nanoelektronik