PRACTICE PROJECTS AND BACHELOR / MASTER THESIS
Practical projects and Bachelor and Master theses can be started at any time if the requirements are met.
There is the possibility of working on separate topics in research projects, ranging from the simulation and design of systems to their implementation in the clean room.
The main questions concern innovative applications in current fields of microelectronics and microsystem technology, their simulation, design and manufacture, construction and programming of automated measuring stations as well as the characterization of components and systems. In accordance with the interdisciplinary nature of microsystem technology, the main topics of the work are just as suitable for engineering students (electrical engineering and mechanical engineering) as for those studying natural sciences, especially chemistry and physics.
The necessary training is taken into account when setting the task, so that the work can be completed within the specified deadlines; Registration takes place as soon as work begins at the chair. A completion of the thesis within the semester is guaranteed if the start is timely.
In the laboratory, support is usually provided by scientific staff, and Dr.-Ing. Claudia Bock, Dr.-Ing. Ulrich Wieser and Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann available.
Subject areas / research focus:
Research into flexible pH sensor systems based on 2D materials
Contact: M. Sc. Julia Jagosz, Dr.-Ing. Claudia Bock
Flexible thin film transistors based on 2D materials
Contact: Dr.-Ing. Claudia Bock, M. Sc. Leander Willeke
ALD process development and the integration of these into functional components
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Claudia Bock, M. Sc. Leander Willeke
Passive sensors in microsystem technology; Surface micromechanics
Contact: Dr.-Ing. Philip Schmitt
Microactuators
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Lisa Schmitt, M. Sc. Marius Hillebrand
Microsystems technology for THz applications
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Lisa Schmitt, M. Sc. Marcel Burfeindt
Forschungsschwerpunkte und angebotene Bachelor-/Masterarbeiten:
Erforschung flexibler pH Sensorsysteme auf Basis von 2D Materialien
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Claudia Bock, M. Sc. Julia Jagosz
Bachelor-/Masterarbeit:
- Herstellung und Charakterisierung MoS2 basierter ISFETs für die pH Messung
Betreuerin: M. Sc. Julia Jagosz
Flexible Dünnfilmtransistoren auf Basis von 2D Materialien
ALD Prozessentwicklung und die Integration derer in funktionale Bauelemente
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Claudia Bock, M. Sc. Leander Willeke
Bachelor-/Masterarbeit:
- Untersuchung von Vorbehandlungen für die 2D-Halbleiterherstellung in Atomlagenabscheidung (ALD) auf flexiblen Substraten
- Annealing von zweidimensionalem Molybdändisulfid (MoS2)-Halbleiterschichten mittels Temperung in H2S-Gas
- Herstellung und Charakterisierung von 2D-Materialbasierten Transistoren für moore’sche Skalierung
- Erzeugung und Charakterisierung von ultradünnen Materialstapeln (<50nm) auf flexiblem Glas
Betreuer: M. Sc. Leander Willeke
Passive Sensorik
Oberflächenmikromechanik
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Philip Schmitt
Bachelorarbeit:
- Aufbau eines Versuchsstands zur Charakterisierung von mikromechanischen Dehnungssensoren
gewünschte Vorkenntnisse: LabView, Inventor (CAD)
Masterarbeit:
- Entwicklung eines Versuchsstands zur automatisierten Eigenfrequenzanalyse von Mikrosystemen auf Waferlevel
gewünschte Vorkenntnisse: LabView, Inventor (CAD)
Betreuer: Dr.-Ing. Philip Schmitt
Mikroaktoren
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Lisa Schmitt, M. Sc. Marius Hillebrand
Bachelor-/Masterarbeit:
- Entwicklung isotroper Ätzprozesse zur Freistellung beweglicher Strukturen in Bulk-Silicium
- Entwurf und Simulation von Federsystemen für Kipp-Schiebe-Mechanismen
- Untersuchung mehrdirektionaler Mikroaktoren auf Basis asymmetrischer Felder
Betreuer: M. Sc. Marius Hillebrand
Mikrosystemtechnik für THz-Anwendungen
Ansprechpartner: Dr.-Ing. Lisa Schmitt, M. Sc. Marcel Burfeindt
Bachelor-/Masterarbeit:
- Fügeverfahren für THz Anwendungen
- Schaltbare THz Systeme durch MEMS
Betreuer: M. Sc. Marcel Burfeindt
